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J-GLOBAL ID：200903024382166568

部品の洗浄方法

Inventor： 橋本 潤 ,  伊藤 良明
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 佐藤 幸男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997269250
Publication number (International publication number)：1999090365
Application date： Sep. 16, 1997
Publication date： Apr. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 炭素およびフッ素を含むガス環境下でのプラズマの生成により生じた炭素およびフッ素を含む重合体を効果的に除去し得る洗浄方法を提供する。【解決手段】 C4F9OCH3 を含むエーテル液12を前記重合体の洗浄液として用いる。

Claim (excerpt)：

炭素およびフッ素を含むガス環境下でのプラズマの生成により生じた炭素およびフッ素を含む重合体付着物を部品から除去する方法であって、洗浄液として、C4F9OCH3 を含むエーテル液を用いたことを特徴とする、部品の洗浄方法。

IPC (5)：

B08B 3/10 ,  B08B 3/08 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/304 341 ,  C11D 7:28

FI (4)：

B08B 3/10 Z ,  B08B 3/08 Z ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/304 341 L