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J-GLOBAL ID：200903024407108878

光学装置、光スキャン装置、加速度検出装置、圧力検出装置、及び画像検出装置

Inventor： 今本 浩史 ,  柳ケ瀬 雅司 ,  速水 一行 ,  高橋 敏幸
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995084932
Publication number (International publication number)：1996254664
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 大きな走査角の得られる光スキャン装置を提供する。【構成】 X軸方向に配設した弾性変形可能なビーム6aによって重り部7をフレーム8に支持し可動反射部5aを形成し、Y軸方向に配設した弾性変形可能なビーム6bによって重り部7をフレーム8に支持し可動反射部5bを形成して、可動部1をシリコンウエハより作製する。可動部1の上面にはカバー3を接合し、カバー3内面には固定ミラー部9を形成する。また、可動部1の下面には駆動源2を接合して、ビーム6aの共振周波数f1に等しい周波数の振動及びビーム6bの共振周波数f2に等しい周波数の振動を可動部1に印加する。【効果】 投光部から出射された光は可動反射部でθ1方向で走査され、可動反射部で反射された光は可動反射部でθ2方向に走査される。

Claim (excerpt)：

弾性体により支持された複数の可動反射面を有し、一つの可動反射面で反射された光が他の可動反射面でも反射されるように配置された光学装置であって、一つの可動反射面の振動モードが他の一つの可動反射面の振動モードと異なることを特徴とする光学装置。

IPC (4)：

G02B 26/10 101 ,  G01L 9/00 ,  G01P 15/03 ,  H01L 29/84

FI (5)：

G02B 26/10 101 ,  G01L 9/00 C ,  G01L 9/00 B ,  G01P 15/03 C ,  H01L 29/84 Z