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J-GLOBAL ID：200903024427989315
原子間力顕微鏡装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991232278
Publication number (International publication number)：1993045160
Application date： Aug. 20, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、被測定物が誘電体材料であったとしても正確な原子間力の測定ひいては正確な表面粗度の測定を容易に行うことが可能な原子間力顕微鏡装置を提供することを目的とする。【構成】 被測定物の表面と探針の先端とを微小間隔を置いて容器内において対向させ、前記被測定物及び探針を構成する各々の原子の間に働く原子間力を機械的変位に変換するように構成された原子間力顕微鏡装置において、前記容器内に電離ガスを供給するための電離ガス供給手段を設けたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
被測定物の表面と探針の先端とを微小間隔を置いて容器内において対向させ、前記被測定物及び探針を構成する各々の原子の間に働く原子間力を機械的変位に変換するように構成された原子間力顕微鏡装置において、前記容器内に電離ガスを供給するための電離ガス供給手段を設けたことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。
IPC (2)：
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