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J-GLOBAL ID:200903024434089001

XY-θ軸の微調整機構

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鎌田 久男 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991352158
Publication number (International publication number):1993162035
Application date: Dec. 13, 1991
Publication date: Jun. 29, 1993
Summary:
【要約】【目的】 小型でも大きな荷重に耐えられ、制御が簡単で、しかも調整後の固定が安定する。【構成】 被調整物支持体10を仮想される四辺形の頂点の位置に配置したXY軸調整用の4個のステージ21,22,23,24で動かし、支持体10をX軸またはY軸方向に動かすときは、四辺形の対角上にある一対の駆動点11、13または駆動点12、14を同方向に移動させることにより調整し、θ軸方向に動かすときは、長方形の対角上にある一対の駆動点同士をそれぞれ逆方向に移動させることにより調整する。
Claim (excerpt):
X軸、Y軸およびθ軸について調整されるべき被調整物を支持する支持体と;仮想される四辺形の頂点回りに順次配置される第1,第2,第3および第4の駆動点で、前記支持体に回転自在に結合され、前記各駆動点に対してX軸方向またはY軸方向の一方向に自由にスライドでき他方向に駆動できる第1,第2,第3および第4の駆動体と;前記支持体をX軸方向に移動するときには、前記第2の駆動体と前記第4の駆動体を自由にスライドさせながら前記第1の駆動体と前記第3の駆動体をX軸の同方向に駆動し、前記支持体をY軸方向に移動するときには、前記第1の駆動体と前記第3の駆動体を自由にスライドさせながら前記第2の駆動体と前記第4の駆動体をY軸の同方向に駆動し、前記支持体をθ軸方向に回転させるときには、前記第1の駆動体と前記第3の駆動体をY軸方向にかつ前記第2の駆動体と前記第4の駆動体をX軸方向に自由にスライドさせながら、前記第1の駆動体と前記第3の駆動体のX軸の互いに逆方向の駆動と、前記第2の駆動体と前記第4の駆動体のY軸の互いに逆方向の駆動を同時に行う駆動制御手段と;を含むことを特徴とするXY-θ軸の微調整機構。
IPC (5):
B23Q 1/14 ,  B23Q 3/18 ,  B23Q 15/22 ,  B41F 15/26 ,  G12B 5/00

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