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J-GLOBAL ID：200903024447954305

検査装置

Inventor： 平野 雅嗣 ,  三木 章利
Applicant, Patent owner： オムロン株式会社
Agent (1)： 中村 茂信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998246771
Publication number (International publication number)：2000075208
Application date： Sep. 01, 1998
Publication date： Mar. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 スライドガラスを移動させた後のXYステージと光学系との間の相対的な残留振動を無くし、また保持手段の調整を容易にする検査装置を提供する。【解決手段】 検査装置では、支柱185で支持された定盤180の下にXYステージ181が一体に取付けられ、定盤180の上に光学系183が一体に取付けられている。XYステージ181は、その係合部181aが定盤180の支持部180aに係合することで、定盤180に吊り下げ状に取付けられる。保持手段としてのチャック手段は、XYステージ181に取付けられ、2対のフォーク190,191でスライドガラスGの長手方向の両端部をそれぞれ上下から挟持する。

Claim (excerpt)：

定盤と、この定盤に取付けられ、保持手段により保持されたスライドガラスをX軸及びY軸方向(前後左右方向)に移動させるXYステージと、保持手段で保持されたスライドガラスを照明する光源と、照明されたスライドガラスを観察する光学系とを備える検査装置において、前記光学系は定盤の上に一体に取付けられ、前記XYステージは定盤の下に一体に取付けられていることを特徴とする検査装置。

IPC (3)：

G02B 21/00 ,  G01N 33/48 ,  G02B 21/26

FI (3)：

G02B 21/00 ,  G01N 33/48 T ,  G02B 21/26

F-Term (17)：

2G045CA25 ,  2G045FA11 ,  2G045FA16 ,  2G045HA16 ,  2G045JA07 ,  2G045JA08 ,  2H052AB01 ,  2H052AB03 ,  2H052AC01 ,  2H052AD11 ,  2H052AD15 ,  2H052AD18 ,  2H052AD19 ,  2H052AD26 ,  2H052AD36 ,  2H052AD37 ,  2H052AF02