Pat
J-GLOBAL ID：200903024453166874
回折格子の作製方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992030796
Publication number (International publication number)：1993232307
Application date： Feb. 18, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 非常に薄いと共に極めて軽い回折格子7を比較的安価に作製することを目的とする。【構成】 回折格子パターン7aに対応するパターン7bを有するスタンパー60を形成し、このスタンパー60により樹脂基板61にこの回折格子パターン7aを転写し、この樹脂基板61の転写された回折格子パターン7a上に反射率の高い金属例えばAl,Auを蒸着し、その後この樹脂基板61の蒸着された金属膜62側を接着材63を介して被計測物64例えばヘッドアーム5に接着し、この接着材63が硬化後この被計測物64より、この樹脂基板61のみを剥離し、この被計測物64にこの金属膜62の回折格子パターン7aを作製するようにしたものである。
Claim (excerpt)：
回折格子パターンに対応するパターンを有するスタンパーを形成し、該スタンパーにより樹脂基板に上記回折格子パターンを転写し、該樹脂基板の転写された回折格子パターン上に反射率の高い金属を蒸着し、その後上記樹脂基板の蒸着された金属膜側を接着材を介して被計測物に接着し、該接着材が硬化後上記被計測物より上記樹脂基板のみを剥離し、上記被計測物に上記金属膜の回折格子パターンを作製するようにしたことを特徴とする回折格子の作製方法。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
Show all
Return to Previous Page
