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J-GLOBAL ID：200903024474802657

平板状試料の表面不純物分析の前処理装置およびこれを用いた平板状試料の表面不純物分析の前処理方法

Inventor： 平野 則子
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000055375
Publication number (International publication number)：2001242050
Application date： Mar. 01, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 不純物の定量精度と検出感度の優れた平板状試料の表面不純物分析の前処理装置を得る。【解決手段】 下部ケース20にはくぼみ22が設けられ、半導体基板10との間に空隙が形成される。くぼみ22には密栓可能な注入孔23と空気抜き孔24の2つの開孔が設けられ、空気抜き孔24から空気を抜きながら、注入孔23から処理液50を注入して半導体基板10の被処理面に処理液50を接触させる。

Claim (excerpt)：

平板状試料を保持し、上記平板状試料の被処理面との間に空隙を形成するくぼみが設けられた第1部材、上記平板状試料を上記第1部材に圧着する第2部材、および上記第1部材に設けられ上記空隙と連通した複数の開孔を備えたことを特徴とする平板状試料の表面不純物分析の前処理装置。

IPC (4)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/00 102 ,  G01N 1/36

FI (6)：

G01N 1/00 101 G ,  G01N 1/00 102 C ,  G01N 1/28 W ,  G01N 1/28 X ,  G01N 1/28 K ,  G01N 1/28 Y