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J-GLOBAL ID：200903024485910591
不溶性陽極を用いた銅めっき法における銅めっき浴の組成制御方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992106739
Publication number (International publication number)：1993302199
Application date： Apr. 24, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：
【要約】【目的】 不溶性陽極を用いた電気銅めっき法における銅めっき浴に銅イオンを含むめっき液を補給することによって、銅めっき浴の組成を制御する方法について提案する。【構成】 不溶性電極を用いた銅めっき法における銅めっき浴2に、銅イオン補給槽1から銅イオンおよび水酸化イオンを補給することで該銅めっき浴2の組成を制御する方法において、銅イオンを透過させることなく水酸化イオンを選択的に透過させる隔膜で分離された上記銅イオン補給槽1の一方の側を銅めっき液で満しかつこの中に銅金属電極7を浸漬し、他方の側をアルカリ水溶液で満しかつこの中に対極を浸漬し、上記銅金属電極7が正に上記対極が負となるようにして電解することにより該銅金属電極7から銅イオンを生ぜしめ、この際、上記銅イオン補給槽1での電解電流と上記めっき浴での電解電流とが等しくなるように制御することにより、補給すべき銅イオンおよび水酸化イオンの濃度を一定に保つ。
Claim (excerpt)：
不溶性電極を用いた銅めっき法における銅めっき浴に、銅イオン補給槽から銅イオンおよび水酸化イオンを補給することで該銅めっき浴の組成を制御する方法において、銅イオンを透過させることなく水酸化イオンを選択的に透過させる隔膜で分離された上記銅イオン補給槽の一方の側を銅めっき液で満しかつこの中に銅金属電極を浸漬し、他方の側をアルカリ水溶液で満しかつこの中に対極を浸漬し、上記銅金属電極が正に上記対極が負となるようにして電解することにより該銅金属電極から銅イオンを生ぜしめ、この際、上記銅イオン補給槽での電解電流と上記めっき浴での電解電流とが等しくなるように制御することにより、補給すべき銅イオンおよび水酸化イオンの濃度を一定に保つことを特徴とする、不溶性陽極を用いた銅めっき法における銅めっき浴の組成の制御方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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