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J-GLOBAL ID：200903024496592168

プラズマ発生装置

Inventor： 西崎 和人 ,  菅原 實
Applicant, Patent owner： 島田理化工業株式会社 ,  菅原 實
Agent (1)： 鈴木 正剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994088962
Publication number (International publication number)：1995296993
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 表面処理の品質向上が図れ、しかも処理の効率化に寄与する構造の電極を備えたプラズマ発生装置を提供する。【構成】 主面同士が対向する一対の電極のうち、上部電極11と下部電極22に、その先端部が他方の電極主面を指向する複数の導電性突起体を配設し、各突起体の先端部周縁に角部を形成し、プラズマの励起箇所を該角部に特定させる。更に、突起体先端部に配置変更乃至脱着が自在の誘電体40,41を介在させたる。この誘電体40,41は、例えば角部から他方の電極主面に向かうにつれて順次誘電率の大きい誘電体板を配置してなる複合誘電体であり、これによってプラズマの密度を均一に保持しつつその拡がり範囲を拡張させる。

Claim (excerpt)：

その主面同士が所定間隔で対向する一対の平板電極を有し、これら電極間の電位差が閾値を超えたときに前記電極主面間の空間にプラズマを励起させるプラズマ発生装置において、少なくとも一方の電極主面に、その先端部が他方の電極主面を指向する複数の導電性突起体を配設し、各突起体の先端部周縁に角部を形成したことを特徴とするプラズマ発生装置。