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J-GLOBAL ID：200903024507289659

対物レンズ系

Inventor： 雨宮 昇
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 井上 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000383642
Publication number (International publication number)：2002182116
Application date： Dec. 18, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】レンズ面の有効直径をその面の曲率半径で除した値が1.8以上であるレンズ面を有する対物レンズにおいて、諸収差、特に高次の球面収差が良好に補正され、高い光学性能を有する対物レンズ系を提供すること。【解決手段】 所定のレンズ面1の有効直径を該レンズ面1の曲率半径で除した値が1.8以上であるレンズ面1を少なくとも一面有する対物レンズ系において、非球面部材2,PPを少なくとも一面有する。

Claim (excerpt)：

所定のレンズ面の有効直径を該レンズ面の曲率半径で除した値が1.8以上であるレンズ面を少なくとも一面有する対物レンズ系において、非球面部材を少なくとも一面有することを特徴とする対物レンズ系。

IPC (2)：

G02B 21/02 ,  G02B 13/18

FI (2)：

G02B 21/02 A ,  G02B 13/18

F-Term (18)：

2H087KA09 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087PA08 ,  2H087PA17 ,  2H087PB08 ,  2H087QA03 ,  2H087QA06 ,  2H087QA12 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA39 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  2H087RA05 ,  2H087RA11 ,  2H087RA42 ,  2H087UA03