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J-GLOBAL ID：200903024511060950

硬質炭素系被膜を有する工具部材

Inventor： 安岡 学 ,  辻渕 清和
Applicant, Patent owner： 株式会社不二越
Agent (1)： 河内 潤二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998349890
Publication number (International publication number)：2000176705
Application date： Dec. 09, 1998
Publication date： Jun. 27, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ドリル、エンドミル又はタップを含む工具に使用される高速度工具鋼又は超硬合金を母材とする工具上に直接に、又は、前記工具上に硬質物質をコーティングしたコーティング工具上に、安定した耐久性を有しかつ量産に適した安価な、硬質炭素系潤滑膜を被覆した、硬質炭素系被膜を有する工具部材を提供。【構成】 硬質炭素被膜即ち所謂ダイヤモンドライクカーボン(DLC)を含む硬質炭素系潤滑膜であって、(a).膜全体の膜厚が 2.0μm以下のものであり、最上層に膜厚が 0.2μm以上 1,0μm以下の炭素被膜があり、(b).シリコンと炭素もしくはシリコン、炭素及び窒素を含む成分からなる中間層を有し、中間層の下に界面と接する厚さ0.02μm以上 0.5μm以下のシリコン単体の層があり、(c).ロックウエル圧痕法による判定で剥離、亀裂が認められない、高潤滑膜を被覆。

Claim (excerpt)：

ドリル、エンドミル及びタップを含む工具に使用される高速度工具鋼又は超硬合金を母材とする工具上に直接に、又は、前記工具上に TiN,TiCN,TiAlN,A2O3もしくはこれらの組合せを含む硬質物質をコーティングしたコーティング工具上に、以下の条件を満たす硬質炭素被膜即ち所謂ダイヤモンドライクカーボン(DLC)を含む硬質炭素系潤滑膜を被覆させたことを特徴とする硬質炭素被膜を有する工具部材。(a).膜全体の膜厚が 2.0μm以下のものであり、最上層に膜厚が 0.2μm以上 1,0μm以下の硬質炭素系潤滑膜がある。(b).シリコンと炭素もしくはシリコン、炭素及び窒素を含む成分からなる中間層を有し、中間層の下に界面と接する厚さ0.02μm以上 0.5μm以下のシリコン単体の層がある。(c).前記硬質炭素系潤滑膜は、Aスケ-ルロックウエル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕を100倍の倍率で観察した結果が、前記圧痕の外周1mm以上の範囲で膜と工具母材との間で剥離、亀裂が認められない。

IPC (4)：

B23B 27/14 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  C23C 28/04

FI (4)：

B23B 27/14 A ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26 ,  C23C 28/04

F-Term (47)：

3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF05 ,  3C046FF09 ,  3C046FF10 ,  3C046FF17 ,  3C046FF25 ,  3C046FF32 ,  3C046FF33 ,  3C046FF34 ,  3C046FF40 ,  3C046FF42 ,  3C046FF55 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA34 ,  4K029BA35 ,  4K029BA44 ,  4K029BA54 ,  4K029BA56 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029EA01 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BA37 ,  4K030BA38 ,  4K030BA41 ,  4K030BA43 ,  4K030BB01 ,  4K030BB12 ,  4K030CA02 ,  4K030CA03 ,  4K030LA22 ,  4K044AA02 ,  4K044AB05 ,  4K044BA13 ,  4K044BA18 ,  4K044BA19 ,  4K044BB02 ,  4K044BC01 ,  4K044CA13 ,  4K044CA14