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J-GLOBAL ID：200903024512503529

照明光学系及びそれを用いた露光装置

Inventor： 溝内 聡
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996331585
Publication number (International publication number)：1998163096
Application date： Nov. 26, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】 干渉性低減部材に適切な特性の回折光学素子を用いることにより、硝材厚を殆ど増加させずに光束の干渉性を低減させて、光学的ノイズを少なくして、明るく均一にマスクを照明する照明光学系及びそれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】 光源からの光束を少なくとも1 つの回折光学素子を有する干渉性低減部材に入射させ、該干渉性低減部材により該光束中の光線に光路差を与えて該光束の干渉性を低減させた後第1 物体を照明する。

Claim (excerpt)：

光源からの光束を少なくとも1 つの回折光学素子を有する干渉性低減部材に入射させ、該干渉性低減部材により該光束中の光線に光路差を与えて該光束の干渉性を低減させた後第1 物体を照明することを特徴とする照明光学系。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (2)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 505