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J-GLOBAL ID：200903024540996360

電子線干渉装置

Inventor： 遠藤 潤二 ,  窪田 重雄 ,  齊藤 栄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997196749
Publication number (International publication number)：1999040097
Application date： Jul. 23, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】縞走査法に好適な電子線干渉装置を実現する。【解決手段】電子線干渉装置全体がバイプリズムホルダ12上で電子光学軸の周りに回転するように、接地電極1と回転駆動機構11の一方のギヤを一体化し、ワイヤ状電極1を保持するホルダ2を、回転ベース7上に固定された下部絶縁支持部材3′′と上部絶縁支持部材3′で挾み、それらを接地電極10外周部とオサエ8内周部に刻まれたネジをかみ合わせることによって結合し、圧電素子4は、その一端が回転ベース7に支持部5によって固定され、他端はホルダ2の外周部もしくは上下いずれかの絶縁支持部材に接触しており、絶縁支持部材3′および3′′を弾性変形させることで、ワイヤ状電極1を微動させる。

Claim (excerpt)：

電子光学軸を挟んで対向する面が平行な平面状である一対の接地電極と、上記接地電極の中間にそれらと平行かつ電子線軸にほぼ直交して設置されたワイヤ状電極と、上記ワイヤ状電極の支持部材とから成り、接地電極対とワイヤ状電極は互いに電気的に絶縁され、上記ワイヤ状電極が上記接地電極に対し接地電極対向面の法線方向に微動するごとき微動駆動機構を有し、上記微動駆動機構が上記ワイヤ状電極の支持部材もしくはその一部を弾性変形させることを特徴とする電子線干渉装置。