Pat

J-GLOBAL ID：200903024563507782

磁気記録媒体の製造方法

Inventor： 桐野 文良 ,  稲葉 信幸 ,  竹内 輝明 ,  若林 康一郎
Applicant, Patent owner： 日立マクセル株式会社
Agent (1)： 杉浦 康昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169382
Publication number (International publication number)：2001006165
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】磁性膜における結晶粒子サイズの分散を抑制し、かつ、微細化し、結晶粒子サイズの分散を抑制し、低ノイズ、低熱揺らぎ、低熱減磁で、40Gbit/inch2を超える超高密度磁気記録媒体。【解決手段】ガラス基板表面に酸化コバルト、酸化クロム、酸化鉄あるいは酸化ニッケルの内より選ばれる1種類の酸化物(溶質)を酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化タンタルあるいは酸化亜鉛の内より選ばれる少なくとも1種類の酸化物(溶媒)に溶解し、ハニカム構造を有しかつ規則的に配列した溶質物質の結晶粒子と、該粒子を取り囲むように粒界に溶媒物質を析出させた構造の無機化合物の基板あるいは薄膜をECR法により形成した後に、磁気記録媒体を作製した構造の磁気記録媒体を形成することにより実現できる。ここで、該無機化合物の基板あるいは薄膜は、溶質物質が結晶粒子として析出し、溶媒物質がその結晶粒界に存在している構造である。

Claim (excerpt)：

少なくとも基板と無機化合物薄膜と磁性膜と保護膜を有する磁気記録媒体の製造方法において、該無機化合物薄膜をマイクロ波を用いたECRスパッタ法により成膜することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (2)：

G11B 5/84 ,  G11B 5/66

FI (2)：

G11B 5/84 Z ,  G11B 5/66

F-Term (15)：

5D006BB01 ,  5D006BB04 ,  5D006BB07 ,  5D006CA01 ,  5D006CA05 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA03 ,  5D112AA05 ,  5D112AA24 ,  5D112BB05 ,  5D112BB06 ,  5D112BD03 ,  5D112FA04