吸着物検知装置、該装置を用いた吸着物検知方法、該装置を用いた位置ずれ検知方法、および該装置を用いた清掃方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997133724
Publication number (International publication number)：1998068759
Application date： May. 23, 1997
Publication date： Mar. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】スループットにすぐれ、確実に吸着物の有無が検知でき、しかも省スペースで構成が簡単な吸着物検知装置等を提供する。【解決手段】この装置は、ノズル穴で吸着物11を真空吸着して水平及び垂直の方向に搬送するための吸着搬送アーム12を備えている。ステージ13の、吸着物11が置かれる部分の裏側には、上向きの発光センサ14が配置されている。その吸着物11が置かれる部分には発光センサ14の上向きの光線を遮らないような貫通穴が開けられている。一方、吸着搬送アーム12のノズル穴の奥には、発光センサ14からの光線を受光するための下向きの受光センサ15が配置されている。

Claim (excerpt)：

垂直及び水平方向に移動可能な吸着搬送アームによって吸着搬送される吸着物がステージの所定の場所に有るか無いかを検知するための吸着物検知装置であって、前記吸着搬送アームには、前記ステージ側に向いて開口していると共に真空源又は負圧源に通じているノズル穴が形成されており、前記所定の場所の裏側もしくは前記吸着搬送アームのいずれか一方に発光素子が配置され、前記所定の場所には前記発光素子からの光線を遮らないような貫通穴が設けられ、前記発光素子が配置されていない、前記所定の場所の裏側もしくは前記吸着搬送アームに、前記発光素子からの光線を受光するための受光素子が配置されていることを特徴とする、吸着物検知装置。

IPC (7)：

G01R 31/26 , B25J 15/06 , G01V 8/10 , H01L 21/68 , H05K 13/08 , B65G 57/04 , B65G 59/04

FI (7)：

G01R 31/26 Z , B25J 15/06 N , H01L 21/68 B , H05K 13/08 A , B65G 57/04 , B65G 59/04 , G01V 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭62-222649
特開平1-302899
特開平3-137580

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