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J-GLOBAL ID：200903024589308028

硬質炭素膜及び硬質炭素膜被覆部材並びに硬質炭素膜生成方法

Inventor： 富山 明俊
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994009344
Publication number (International publication number)：1995215795
Application date： Jan. 31, 1994
Publication date： Aug. 15, 1995
Summary：

【要約】【構成】ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドの(111)のピーク強度をIa、(220)のピーク強度をIb、(311)のピーク強度をIc、(400)のピーク強度をIdとしたとき、1≦Ib/Ia≦10、2≦Ib/Ic、2≦Ib/Idを満たす硬質炭素膜であり、このような硬質炭素膜は、炭素を含有する原料ガスを分解、プラズマ化し、基体表面に硬質炭素膜を形成する方法において、基体表面におけるプラズマの電子温度が8eV以下、電子密度が1×1011cm-3以上の条件で生成される。【効果】高い結晶性を有するダイヤモンドの結晶粒子を高い核生成密度で一定方向に配向させながら成長させているため、膜の表面が非常に平滑で、高耐摩耗性、高摺動性を具備した硬質炭素膜を得ることができる。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドの(111)のピーク強度をIa、(220)のピーク強度をIb、(311)のピーク強度をIc、(400)のピーク強度をIdとしたとき、1≦Ib/Ia≦10、2≦Ib/Ic、2≦Ib/Idを満たすことを特徴とする硬質炭素膜。

IPC (4)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  B23B 27/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-307196
  
• 特開昭63-239195
  
• 特開昭63-316427
  
• 特開平2-170978