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J-GLOBAL ID：200903024591549253

感光性樹脂組成物及び硬化皮膜の製造方法

Inventor： 渡辺 岳男 ,  佐藤 孝志 ,  浅井 佳文 ,  田越 宏孝
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社
Agent (1)： 矢口 平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000041475
Publication number (International publication number)：2001228610
Application date： Feb. 15, 2000
Publication date： Aug. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】光ラジカル重合とカチオン重合の併用による短時間の紫外線露光、それに続く希アルカリ水溶液による現像で画像形成が可能であり、パターン形成後はオキセタン構造を有する化合物の存在下、カチオン重合開始剤の作用によって、カチオン重合及びアルカリ可溶性樹脂との架橋が短時間の加熱処理により完結でき、密着性、耐ハンダ性、プレッシャークッカー耐性、低吸水性等の諸特性に優れたソルダーレジストまたは層間絶縁材料の提供。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂(A)、オキセタン構造を有する化合物(B)、ラジカル重合性不飽和基を有する化合物(C)、光ラジカル開始剤(D)及びカチオン重合開始剤(E)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、その硬化皮膜およびその硬化方法に関する。

Claim (excerpt)：

オキセタン構造を有する化合物(A)、ラジカル重合性不飽和基を有する化合物(B)、光ラジカル開始剤(C)及びカチオン重合開始剤(D)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/038 503 ,  C08F 2/50 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028

FI (4)：

G03F 7/038 503 ,  C08F 2/50 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028

F-Term (30)：

2H025AA01 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BD03 ,  2H025BD04 ,  2H025CA00 ,  2H025CA48 ,  2H025CB42 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J011QA03 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011RA03 ,  4J011RA10 ,  4J011RA14 ,  4J011SA01 ,  4J011SA31 ,  4J011SA84 ,  4J011TA10 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011UA06 ,  4J011WA01