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J-GLOBAL ID：200903024626453823

カラーフィルターの製造方法

Inventor： 小佐野 永人 ,  鈴木 博幸 ,  岩田 研逸 ,  竹腰 朝子 ,  坂本 淳一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 吉田 勝広 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996356699
Publication number (International publication number)：1998197712
Application date： Dec. 27, 1996
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】 樹脂BMの遮光性が確保され、且つ、優れたパターン精度が達成されるすると共に、画素の白抜けの生じないカラーフィルターを安価に提供し得るカラーフィルターの製造方法の提供。【解決手段】 透明基板上にフォトリソグラフィー法により黒色のブラックマトリクスを設ける工程において、透明基板上に感光性樹脂を有する遮光性材料を塗布して塗膜を形成した後、該塗膜の一部を露光してパターン化して遮光層を形成する成膜及び露光過程を複数回繰り返すことによって、上記遮光層が複数積層された積層体からなるブラックマトリクスを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

Claim (excerpt)：

透明基板上にフォトリソグラフィー法により黒色のブラックマトリクスを設ける工程において、透明基板上に感光性樹脂を有する遮光性材料を塗布して塗膜を形成した後、該塗膜の一部を露光してパターン化して遮光層を形成する成膜及び露光過程を複数回繰り返すことによって、上記遮光層が複数積層された積層体からなるブラックマトリクスを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  H04N 9/30

FI (3)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  H04N 9/30