Pat

J-GLOBAL ID：200903024627266636

パターン検査方法及びパターン検査装置

Inventor： 澤 英二
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 大胡 典夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999344760
Publication number (International publication number)：2001159614
Application date： Dec. 03, 1999
Publication date： Jun. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 被検査体のロットが変更された場合や、難しいとされているOPCパターンの検査でも、それぞれに適切な検査アルゴリズムを選択することにより、被検査体の欠陥を確実に検出できるようにしたパターン検査方法と装置を提供すること。【解決手段】 被検査体に形成されたパターンとそのパターンの設計データとを検査アルゴリズム3a、3b...3n、33a、33b...33nにより比較して、パターンの欠陥検査をおこなうに際し、検査アルゴリズムは、記憶手段に複数個格納されているものから選択されてターゲット基板2、32に伝送して用いる。

Claim (excerpt)：

被検査体に形成されたパターンと該パターンの設計データとを検査アルゴリズムにより比較して前記パターンの欠陥検査をおこなうパターン検査方法において、前記検査アルゴリズムは、記憶手段に複数個格納されているものから選択されてターゲット基板に伝送されて用いられることを特徴とするパターン検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G01B 21/20

FI (3)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G01B 21/20 F

F-Term (41)：

2F065AA49 ,  2F065BB18 ,  2F065BB27 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR05 ,  2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069BB40 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG45 ,  2F069GG72 ,  2F069GG77 ,  2F069JJ14 ,  2F069MM24 ,  2F069NN00 ,  2F069NN08 ,  2G051AA56 ,  2G051AB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB05 ,  2G051ED04