Pat
J-GLOBAL ID:200903024627266636
パターン検査方法及びパターン検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
大胡 典夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999344760
Publication number (International publication number):2001159614
Application date: Dec. 03, 1999
Publication date: Jun. 12, 2001
Summary:
【要約】【課題】 被検査体のロットが変更された場合や、難しいとされているOPCパターンの検査でも、それぞれに適切な検査アルゴリズムを選択することにより、被検査体の欠陥を確実に検出できるようにしたパターン検査方法と装置を提供すること。【解決手段】 被検査体に形成されたパターンとそのパターンの設計データとを検査アルゴリズム3a、3b...3n、33a、33b...33nにより比較して、パターンの欠陥検査をおこなうに際し、検査アルゴリズムは、記憶手段に複数個格納されているものから選択されてターゲット基板2、32に伝送して用いる。
Claim (excerpt):
被検査体に形成されたパターンと該パターンの設計データとを検査アルゴリズムにより比較して前記パターンの欠陥検査をおこなうパターン検査方法において、前記検査アルゴリズムは、記憶手段に複数個格納されているものから選択されてターゲット基板に伝送されて用いられることを特徴とするパターン検査方法。
IPC (3):
G01N 21/956
, G01B 11/30
, G01B 21/20
FI (3):
G01N 21/956 A
, G01B 11/30 A
, G01B 21/20 F
F-Term (41):
2F065AA49
, 2F065BB18
, 2F065BB27
, 2F065CC18
, 2F065CC19
, 2F065DD03
, 2F065FF01
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL04
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065PP22
, 2F065QQ03
, 2F065QQ25
, 2F065RR05
, 2F069AA60
, 2F069BB15
, 2F069BB40
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG45
, 2F069GG72
, 2F069GG77
, 2F069JJ14
, 2F069MM24
, 2F069NN00
, 2F069NN08
, 2G051AA56
, 2G051AB11
, 2G051CA03
, 2G051CB02
, 2G051DA07
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051EB05
, 2G051ED04
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