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J-GLOBAL ID：200903024632212617

光波干渉測定装置

Inventor： 石田 明 ,  月原 浩一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995153420
Publication number (International publication number)：1997005025
Application date： Jun. 20, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【目的】光路上の気体の屈折率変動によって発生する測定誤差の補正をより正確に行うことができる光波干渉測定装置を提供する。【構成】移動鏡6の変位を測定するための光束を発する光源16と、光路中の気体の屈折率変動を測定するための光束を発する光源1と、光源16からの光束を参照光と測定光とに分割する偏光ビームスプリッタ4と、偏光ビームスプリッタ4から出射された参照光を透過させ、偏光ビームスプリッタ4から出射された測定光を反射する偏光ビームスプリッタ25と、偏光ビームスプリッタ25で反射された測定光を偏光ビームスプリッタ25に戻すコーナーキューブ27と、偏光ビームスプリッタ25を透過した参照光を偏光ビームスプリッタ25に戻すコーナーキューブ8とを有し、さらに、波長フィルタ24、偏光ビームスプリッタ26、波長フィルタ23によって偏光ビームスプリッタ4で発生した誤差光を低減する。

Claim (excerpt)：

第1の光源と、前記第1の光源から出射された光束を参照光と測定光とに分割する第1の光束分割手段と、前記参照光が通過する固定光学系と、前記測定光が通過する移動光学系と、前記第1の光束分割手段から出射された前記参照光を前記第1の光束分割手段に戻すことで、前記固定光学系と前記第1の光束分割手段との間で前記参照光を少なくとも2往復させ、前記第1の光束分割手段から出射された前記測定光を前記第1の光束分割手段に戻すことで、前記移動光学系と前記第1の光束分割手段との間で前記測定光を少なくとも2往復させる中継光学系と、前記固定光学系及び前記中継光学系を通過した前記参照光と、前記移動光学系及び前記中継光学系を通過した前記測定光とを干渉させて干渉光を発生させる第1の干渉光学系と、前記干渉光を検出する第1の検出手段と、前記第1の検出手段の検出結果に基づいて前記移動光学系の位置に関する情報を出力する演算手段と、屈折率変動測定光を前記第1の光束分割手段に出射する第2の光源と、前記移動光学系及び前記中継光学系を通過した前記屈折率変動測定光をもとに、前記屈折率変動測定光の光路中の気体の屈折率変動を測定する測定手段と、前記測定手段で測定した前記屈折率変動に基づいて前記移動光学系の位置に関する情報を補正する補正手段とを有し、前記中継光学系は、前記第1の光束分割手段で発生した誤差光を取り除く手段を有することを特徴とする光波干渉測定装置。