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J-GLOBAL ID：200903024634917871

ガス漏洩検知装置

Inventor： 飯島 政明 ,  高石 優 ,  深沢 雅人 ,  清水 高興
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993236486
Publication number (International publication number)：1995091600
Application date： Sep. 22, 1993
Publication date： Apr. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 毒性の高圧ガスの漏洩検知装置において、ガス供給配管の点検、修理の作業性および安全性の向上を図る。【構成】 N2 ガス供給口10と、二重構造のガス供給配管の外管であるフッ素樹脂製配管20と、内管の溶接部を被包するフッ素樹脂製伸縮継手30と、ガス供給装置40と、ガス漏洩検知部50と、ガス漏洩指示部60と、N2 ガスの排気口70と、毒性ガス供給配管80などによって構成され、内管と外管の間にN2 ガスを流し、ガス供給装置40から可燃性の高圧ガスを生産装置90へ送出する場合に、毒性ガス供給配管80からその高圧ガスが漏れたときには、フッ素樹脂製配管20により外気へのガス漏れを防ぎ、さらにN2 ガスの流れとともに高圧ガスがガス供給装置40側へ流れ、ガス漏洩検知部50によりその高圧ガスのガス漏れを検知し、ガス漏洩指示部70により管理者に知らせる。

Claim (excerpt)：

高圧ガスを供給するガス供給装置と、内管と外管の二重構造のガス供給配管と、該ガス供給配管から高圧ガスの漏れを検知するガス漏洩検知センサとを備え、高圧ガスの供給を受ける生産装置へ該ガス供給配管を通して接続され、高圧ガスを該ガス供給装置から該ガス供給配管の内管を通じて該生産装置に送出し、該ガス供給配管からのガス漏れが起こった際に、ガス漏れを該ガス漏洩検知センサにより検知するガス漏洩検知装置であって、前記内管と前記外管の間に前記生産装置側より不活性ガスを送出し、該内管のガス漏れを前記ガス漏洩検知センサにて検知することを特徴とするガス漏洩検知装置。

IPC (3)：

F17D 5/04 ,  F17D 1/04 ,  G01M 3/04