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J-GLOBAL ID：200903024669450526

含有ガスの圧力測定方法及び測定装置

Inventor： 塩川 善郎 ,  佐々木 亨
Applicant, Patent owner： アネルバ株式会社
Agent (1)： 中西 次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000311784
Publication number (International publication number)：2002122498
Application date： Oct. 12, 2000
Publication date： Apr. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、測定精度及び応答性に優れ、減圧雰囲気にも適用できる簡便なガス圧力測定方法及びそのための安価な装置を実現することを目的とする。【解決手段】 水晶振動子及びその共振インピーダンス計測手段と、共振インピーダンス変化量を圧力に変換し、ベースガスについての出力値が真の圧力値を示すように校正した圧力変換手段とからなる水晶振動子真空計を用いた混合ガス中の含有ガス圧力測定方法及び装置であって、ベースガス及び含有ガスの単位圧力に対する共振インピーダンス変化量(感度)Ka、Kbを求め、ベースガスだけを導入したときの圧力変換手段の出力値Pbと混合ガスを導入したときの出力値Pc'とから、Pa=(Pc'-Pb)/K (K=Ka/Kb)の関係式により含有ガスの圧力Paを求める。また、混合ガスについて隔膜型真空計の出力値Pcと圧力変換手段の出力値Pc'とから、Pa=(Pc'-Pc)/(K-1)により求めることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

水晶振動子が配置された真空容器に、ベースガスと含有ガスとからなる混合ガスを導入し、水晶振動子の共振インピーダンス変化量から混合ガス中の含有ガスの圧力を測定する圧力測定方法であって、特定の混合ガス圧力又はベースガス圧力において、含有ガスの圧力と共振インピーダンス変化との関係を求め、この関係を基に混合ガスについて測定される共振インピーダンスから含有ガスの圧力を求めることを特徴とする圧力測定方法。

IPC (2)：

G01L 11/00 ,  G01L 21/22

FI (2)：

G01L 21/22 ,  G01L 11/00 A

F-Term (11)：

2F055AA11 ,  2F055BB08 ,  2F055BB19 ,  2F055CC55 ,  2F055DD19 ,  2F055EE39 ,  2F055FF02 ,  2F055FF17 ,  2F055GG32 ,  2F055GG47 ,  2F055GG49