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J-GLOBAL ID：200903024681257928

走査型力顕微鏡

Inventor： 菊川 敦 ,  保坂 純男 ,  本多 幸雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992347690
Publication number (International publication number)：1994201371
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 大気中においても動作可能なFM方式走査型力顕微鏡を提供すること。【構成】 カンチレバー1の変位検出に光てこを用い、その周波数検出にフェイズ・ロックド・ループを用いたFM検波器7を用いる。【効果】 大気中で動作可能なり、調整容易かつ安価な装置を提供できる。

Claim (excerpt)：

a)尖端を有するバネ状のカンチレバーと、b)前記カンチレバーの尖端を試料表面に沿って走査する手段と、c)前記カンチレバーの変位を検出する手段と、d)前記カンチレバー変位信号を増幅する手段と、e)前記カンチレバー変位信号で前記カンチレバーを励振するための手段と、f)フェイズ・ロックド・ループを用いた、前記カンチレバー変位信号の周波数を検出する手段と、g)前記カンチレバー変位信号周波数と目標周波数との差を検出する手段と、h)前記カンチレバー・試料表面間距離を調節する手段とを有することを特徴とする走査型力顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G01B 11/30 ,  H01J 37/28