Pat

J-GLOBAL ID：200903024717726130

露光装置

Inventor： 白田 陽介
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993065075
Publication number (International publication number)：1994045230
Application date： Mar. 24, 1993
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 露光用光源として高解像度の得られるエキシマレーザを用い、かつこのエキシマレーザをアライメント用走査光としても支障なく高精度で使用可能な露光装置を提供する。【構成】 エキシマレーザを発振する光源1と、該光源に対しレーザ発振信号を送出する制御手段10、11とを具備した露光装置において、前記レーザ発振信号の送出後にレーザ充電を行なう第1のレーザ発振モード12と、前記レーザ発振信号の送出前にレーザ充電を完了させる第2のレーザ発振モード13とを有し、前記制御手段は該第1および第2のレーザ発振モードを選択的に切換え可能な構成とした。

Claim (excerpt)：

レーザ充電された状態でエキシマレーザ光を発光する光源と、該光源に対しレーザ発振信号を送出する制御手段とを具備した露光装置において、前記レーザ発振信号の送出タイミングと所定の関係で前記レーザ充電及び前記発光を行なう第1のレーザ発振モードと、少なくとも前記レーザ発振信号の送出が完了するまでの間レーザ充電状態を維持させる第2のレーザ発振モードとを有し、前記制御手段は該第1および第2のレーザ発振モードを選択的に切換え可能な構成としたことを特徴とする露光装置。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/10

FI (2)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L