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J-GLOBAL ID:200903024719886380
配線構造および液晶素子
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994312220
Publication number (International publication number):1996167608
Application date: Dec. 15, 1994
Publication date: Jun. 25, 1996
Summary:
【要約】【目的】 ITOと導電部材が接続する配線構造において、導電部材の酸化を抑え、接触抵抗の増加を防止する。【構成】 インジウム錫酸化物導電部材14と他の導電部材22が介在体28を介して接続され、該介在体が、SnO2の標準生成エンタルピーよりもマイナス側の標準生成エンタルピーの酸化物にならない導電体で構成されていることを特徴とする。【効果】 消費電力の増大や起動不良等を防止することができる。
Claim (excerpt):
インジウム錫酸化物よりなる第1の導電部材と、第2の導電部材とが介在体を介して接続され、該介在体が、SnO2の標準生成エンタルピーよりもマイナス側の標準生成エンタルピーの酸化物にならない導電体で構成されていることを特徴とする配線構造。
IPC (4):
H01L 21/3205
, G02F 1/1343
, H01L 21/768
, H01L 29/786
FI (4):
H01L 21/88 M
, H01L 21/90 A
, H01L 29/78 612 C
, H01L 29/78 616 V
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平3-129326
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特開平4-153623
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特開平1-171282
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