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J-GLOBAL ID:200903024731562140

光波面測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992206933
Publication number (International publication number):1994011388
Application date: Jun. 24, 1992
Publication date: Jan. 21, 1994
Summary:
【要約】【目的】 光ビームの波面の曲率半径を簡易に、かつ、即時に測定する。【構成】 角度が既知な微小なウエッジ角を有する両面が平面のウエッヂ光学基板11と、そのウエッジ角の方向が鉛直を向くように支えるホルダー10、および、この基板を用いて光ビームをシアリング干渉させたときに生じる干渉縞の水平方向となす角度を測定する器具とで構成する。【作用】 光ビームの波面の曲率半径はシアリング干渉により生じた干渉縞の水平面に対する角度として指示される。
Claim (excerpt):
微小なウエッジ角を有する両面が平面な光学基板と、ウエッジの方向が鉛直を向くように光学基板を支えるホルダー、および、この光学基板を用いて光ビームを干渉させたときに生じる干渉縞の水平方向となす角度を測定する器具とから構成される光波面測定装置。
IPC (2):
G01J 1/02 ,  G01J 1/00

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