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J-GLOBAL ID：200903024733949599

シリコンマイクロチャネル光学フローサイトメータ

Inventor： アルテンドルフ,エリック エイチ. ,  イエガー,ポール
Applicant, Patent owner： ユニバーシティ オブ ワシントン
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997513705
Publication number (International publication number)：1999513486
Application date： Sep. 27, 1996
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】本発明は、フローサイトメータ光ヘッドおよび使い捨てフローモジュールの2つの構成部材で構成されるフローサイトメータを提供する。フローモジュールは、シリコンウェハ内に微細加工されたV字溝フローチャネルを用いる。光ヘッドは、照射ビームを提供するレーザーと、小角度および大角度光検出器とを有する。V字溝の異方性エッチング小面(facets)が照射ビームを反射する。小角度散乱光もV字溝壁によって反射され、小角度光検出器によって収集される。大角度散乱光および蛍光は、反射せずにチャネルから出ることができ、大角度光検出器によって収集される。さらに、蛍光は、V字溝によって後方反射させることが可能であり、これにより、収集効率が高められる。本発明は、粒子含有流体を分析する方法および流体フロー内の粒子の速度を測定する方法をさらに含む。

Claim (excerpt)：

フローサイトメータ光ヘッドと共に使用される使い捨てフローモジュールであって、 表面を有するシリコンウェハであって、 (1)該表面の平面内にある幅wの上部と、該ウェハ内に形成された第1および第2の壁とを有するV字溝フローチャネル、 (2)該V字溝の第1の端部に結合される流体インレットポート、 (3)該V字溝の第2の端部に結合される流体アウトレットポート、および、 (4)該V字溝と該光ヘッドとの再現可能な光学的アラインメントを伴って、該フローモジュールを該光ヘッドに取外し可能に結合するモジュールアラインメント手段、 が形成されたウェハと、 該ウェハの該表面にシールされ、該V字溝は覆うが該アラインメント手段は覆わない透明カバープレートと、を備えた、フローモジュール。

IPC (4)：

G01N 15/14 ,  G01N 21/05 ,  G01N 21/64 ,  G01N 33/49

FI (5)：

G01N 15/14 Z ,  G01N 15/14 D ,  G01N 21/05 ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 33/49 H