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J-GLOBAL ID：200903024742918361

測定器、その測定器を用いた光学系の製造方法および載物台

Inventor： 海老 正美
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001033337
Publication number (International publication number)：2002236013
Application date： Feb. 09, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明では、被検物の持ち方や運び方、そして、載物台の載せ方等に完全な再現性を求めなくとも、被検物の形状又は寸法などの得られる測定結果について、再現性よく得られるようにすることを目的とする。【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明では、形状あるいは寸法を測定する被検物8を載物台5上に置いて測定する測定器において、前記載物台5は、測定を行う前に前記被検物8を空圧により浮上させる浮上手段(7,6)を有することを特徴とした。

Claim (excerpt)：

形状あるいは寸法を測定する被検物を載物台上に置いて測定する測定器において、前記載物台は、測定を行う前に前記被検物を空圧により浮上させる浮上手段を有することを特徴とする測定器。

F-Term (12)：

2F069AA56 ,  2F069AA61 ,  2F069DD15 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069HH14 ,  2F069JJ17 ,  2F069LL02 ,  2F069MM02 ,  2F069RR01