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J-GLOBAL ID：200903024770294543

昇温脱離分析装置

Inventor： 籔本 周邦
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993062151
Publication number (International publication number)：1994275231
Application date： Mar. 22, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は、加熱により試料から脱離する成分を高感度に検出することができるようにした昇温脱離分析装置を提供することにある。【構成】 真空容器中で試料を熱源により加熱し、前記試料から脱離する分子や原子を質量分析器で測定する装置において、前記試料に対して前記熱源を上方ないしは斜め前方に離隔して設置すると共に、前記質量分析器を前記試料に対して前記熱源の対角線上以外の斜め前方に近接して設置することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

真空容器中で試料を熱源により加熱し、前記試料から脱離する分子や原子を質量分析器で測定する装置において、前記試料に対して前記熱源を上方ないしは斜め前方に離隔して設置すると共に、前記質量分析器を前記試料に対して前記熱源の対角線上以外の斜め前方に近接して設置することを特徴とする昇温脱離分析装置。

IPC (3)：

H01J 49/04 ,  G01N 21/35 ,  G01N 27/62

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-057951
  
• 特開平2-115761
  
• 特開平4-048254