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J-GLOBAL ID：200903024800516619

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 西村 幸生 ,  永井 智樹 ,  石井 寛之 ,  山本 將史 ,  梶田 徹 ,  下川 努
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000401302
Publication number (International publication number)：2002202604
Application date： Dec. 28, 2000
Publication date： Jul. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】 特にArFエキシマレーザー(波長193nm)に代表される遠紫外線に感応する化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状等に優れるのみならず、スペース幅の増減による線幅変動が少ない感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A1)N,N-ジメチルノルボルネン-5-カルボン酸アミド、N,N-ジメチルテトラシクロ[ 4.4.0.12,5 .17,10 ]ドデカ-3-エン-8-カルボン酸アミド等に代表される(置換)カルボン酸アミド基を有するノルボルネン系繰返し単位を含有する樹脂、あるいは(A2)N,N-ジメチル(メタ)アクリルアミド等に代表される(置換)(メタ)アクリルアミド系繰返し単位を含有し、かつ脂環族骨格を有する樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1)に示す繰返し単位(I)を含有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子、置換もしくは非置換の炭素数1〜12のアルキル基、置換もしくは非置換の炭素数1〜12のアルコキシル基、または置換もしくは非置換の炭素数2〜13のアルコキシカルボニル基を示すか、あるいはR1 とR2 が相互に結合してそれぞれが結合している窒素原子と共に環構成原子数3〜10の環構造を形成しており、nは0〜3の整数である。〕

IPC (9)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/56 ,  C08F 32/08 ,  C08F220/18 ,  C08L 33/04 ,  C08L 33/26 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (9)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/56 ,  C08F 32/08 ,  C08F220/18 ,  C08L 33/04 ,  C08L 33/26 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (105)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AA11 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BG071 ,  4J002BG081 ,  4J002BG131 ,  4J002BK001 ,  4J002EB116 ,  4J002EB126 ,  4J002EQ036 ,  4J002EU186 ,  4J002EV216 ,  4J002EV256 ,  4J002EV296 ,  4J002EV306 ,  4J002FD200 ,  4J002FD206 ,  4J002GH00 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05 ,  4J100AL03S ,  4J100AL04S ,  4J100AL05S ,  4J100AL08S ,  4J100AM15Q ,  4J100AM17Q ,  4J100AM19Q ,  4J100AM21Q ,  4J100AR09P ,  4J100AR09R ,  4J100AR11P ,  4J100AR11R ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA03S ,  4J100BA04P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA04S ,  4J100BA05P ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05R ,  4J100BA05S ,  4J100BA06P ,  4J100BA06Q ,  4J100BA06R ,  4J100BA06S ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA16P ,  4J100BA16R ,  4J100BA16S ,  4J100BA20R ,  4J100BA35P ,  4J100BA40P ,  4J100BA40R ,  4J100BA40S ,  4J100BB18R ,  4J100BC02S ,  4J100BC03P ,  4J100BC03R ,  4J100BC03S ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC04S ,  4J100BC07S ,  4J100BC08S ,  4J100BC09S ,  4J100BC12S ,  4J100BC43R ,  4J100BC53R ,  4J100BC73P ,  4J100BC73R ,  4J100BC74P ,  4J100BC74R ,  4J100BC79P ,  4J100BC79R ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38