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J-GLOBAL ID：200903024804247965

湿度検出素子およびそれを用いた空気流量測定装置

Inventor： 阿部 博幸
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996328187
Publication number (International publication number)：1998170465
Application date： Dec. 09, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】湿度検出素子表面に水滴が付着するような苛酷環境下でも性能を保証できる信頼性の高い湿度検出素子および湿度検出装置およびそれを用いた空気流量測定装置を提供することにある。【解決手段】絶縁体の基板表面に湿度検出用の電極を形成すると共に、発熱抵抗体を形成し感湿セラミックで覆う構造である。【効果】湿度検出素子表面に水滴が付着しても、発熱抵抗体を加熱することにより湿度測定素子表面の水滴を除去できることにより、内燃機関のような苛酷環境下でも信頼性の高い湿度測定素子および湿度測定装置を提供できうる。

Claim (excerpt)：

絶縁基板と、前記絶縁基板の表面に設けられ、湿度によって抵抗値が変化する電極と、前記電極を覆って設けられた感湿体と、とを備えた湿度検出素子において、前記電極の設けられた側の絶縁基板の表面に発熱抵抗体を設けたことを特徴とする湿度検出素子。