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J-GLOBAL ID：200903024849259760

蛍石の透過率検査方法

Inventor： 佐久間 繁 ,  水垣 勉 ,  塩澤 正樹 ,  高野 修一 ,  西川 秀美
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン ,  応用光研工業株式会社
Agent (1)： 渡辺 隆男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000060531
Publication number (International publication number)：2000349366
Application date： Apr. 07, 1994
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【目的】 ステッパーの要求する高透過率を満足し、長時間の露光に対しても透過率低下の少ない、すなわち耐紫外線性のある蛍石を得る。【構成】 レーザー光のエネルギー密度を実際のステッパー稼働時の条件より高く設定することにより、短時間の照射試験、すなわち少ないショット数で検査を行うことが可能となる。

Claim (excerpt)：

KrFエキシマレーザーを光源とする光学系に用いられる蛍石の透過率検査方法において、エネルギー密度100〜500mJ/cm2、50〜500Hzのレーザー光を104〜107ショット照射することを特徴とする蛍石の透過率検査方法。

IPC (2)：

H01S 3/00 ,  G02B 1/02

FI (2)：

H01S 3/00 F ,  G02B 1/02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特許第3083952号