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J-GLOBAL ID：200903024869721702

集積化微細装置

Inventor： 橋詰 富博 ,  平家 誠嗣 ,  ラトビッチ・マーク ,  三矢 宗久 ,  市口 恒雄 ,  渡邊 聡 ,  和田 恭雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995328707
Publication number (International publication number)：1997166606
Application date： Dec. 18, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【課題】 分解能を損なわずに単位時間あたりの走査領域が従来と比して飛躍的に広い表面形状測定装置を提供すること。【解決手段】 集積化静電アクチュエータと該集積化静電アクチュエータを駆動機構とする走査プローブ顕微鏡方式の表面形状測定素子を具備し、該表面形状測定素子を二次元状又は一次元状に多数配列した構造を有する。

Claim (excerpt)：

1枚のウェハー上に半導体微細加工技術により形成された複数個の静電アクチュエータを備える集積化微細装置であって、該アクチュエータのそれぞれが二つのアクチュエータからなるとともに、該二つのアクチュエータの一つは他の一つの可動電極に固定電極が形成されたカスケード構造であるとともに、かつ、該二つのアクチュエータの内の一つは、直交する2軸の方向へ可動電極を駆動できるものであることを特徴とする集積化微細装置。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 C ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z