マイクロミラー素子

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：吉田稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001203152
Publication number (International publication number)：2003015064
Application date： Jul. 04, 2001
Publication date： Jan. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】捩れ連結部の捩り抵抗が低く設定されつつミラー面の法線まわりの回転などのミラー形成部の不適切な動作が抑制されたマイクロミラー素子を提供すること。【解決手段】マイクロミラー素子100において、フレーム113と、ミラー平面114を有するミラー形成部111と、フレーム113およびミラー形成部111を連結するように延びるとともに、ミラー形成部111をフレーム113に対して回転させるための回転軸心X1を規定し、さらにミラー平面114に対して平行で回転軸心X1に対して横切方向に幅を有する捩れ連結部112と、を備え、捩れ連結部112の幅は、ミラー形成部111に接続される部分では相対的に広く、フレーム113に至るまでの少なくとも途中までは、ミラー形成部111から遠ざかるにつれて徐々に狭くなることとした。

Claim (excerpt)：

フレームと、ミラー平面を有するミラー形成部と、前記フレームおよび前記ミラー形成部を連結するように延びるとともに、前記ミラー形成部を前記フレームに対して回転させるための回転軸心を規定し、さらに前記ミラー平面に対して平行で前記回転軸心に対して横切方向に幅を有する捩れ連結部と、を備え、前記捩れ連結部の幅は、前記ミラー形成部に接続される部分では相対的に広く、前記フレームに至るまでの少なくとも途中までは、前記ミラー形成部から遠ざかるにつれて徐々に狭くなることを特徴とする、マイクロミラー素子。

IPC (4)：

G02B 26/08 , B81B 3/00 , B81C 1/00 , G11B 7/09

FI (4)：

G02B 26/08 E , B81B 3/00 , B81C 1/00 , G11B 7/09 E

F-Term (10)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H041AC06 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08 , 5D118AA13 , 5D118BA01 , 5D118DC07 , 5D118EA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

ねじり揺動体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-140211 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
光スイッチングデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-191739 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
光偏向器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-034967 Applicant：日本ビクター株式会社

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