Pat

J-GLOBAL ID：200903024897036322

塩化第2鉄液のエツチング廃液の処理法

Inventor： 山本 範壽 ,  薮田 晃一
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Agent (1)： 本多 小平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991285030
Publication number (International publication number)：1993125562
Application date： Oct. 30, 1991
Publication date： May. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電子部品製造分野におけるエッチング廃液やシャドーマスクのエッチング廃液を混合して一括処理する目的で、銅,クロム,ニッケルという有価な重金属を含む塩鉄廃液を対象として、これらの重金属をできるだけ分離して回収しながら、しかも塩鉄液を再生する。【構成】 塩鉄廃液に鉄材を所定量加え、pH<1.5の条件で銅を析出除去する第一の工程と、鉄材を所定量加え、pH1〜3の条件でクロムを沈殿除去する第二の工程と、ヘガネス鉱から製造される鉄粉を所定量加え、pH<3.5の条件でニッケルを沈殿除去する第三の工程と、第三の工程を経た液を塩素化して塩化第2鉄を再生する第四の工程を行なう。これにより、有価重金属の分離回収と塩鉄液の再生が安価に得られる。

Claim (excerpt)：

銅,ニッケル,クロムを含有する塩化第2鉄のエッチング廃液に、液中の塩化第2鉄を塩化第1鉄に還元しかつ銅イオンを金属銅に還元するのに必要十分な量の鉄材を加え、加熱撹拌して銅を析出させ、析出した銅を固液分離する第一の工程と、第一の工程を経た液に鉄材を加え、加熱撹拌して液中のクロムを沈殿させ、この沈澱物を固液分離する第二の工程と、第二の工程を経た液に鉄材を加えると共に塩化第2鉄液又は塩酸を加え、加熱撹拌して液中のニッケルを沈殿させ、この沈澱物を固液分離する第三の工程と、第三の工程を経た液を塩素化して塩化第2鉄液を再生する第四の工程と、を備えたことを特徴とする塩化第2鉄液のエッチング廃液の処理法。

IPC (5)：

C23F 1/46 ,  C02F 1/70 CCY ,  C02F 1/70 CCZ ,  C02F 9/00 ,  H05K 3/06