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J-GLOBAL ID：200903024900218054

多重波長干渉計の多重光ビームを発生する方法および装置

Inventor：
スタンレイ・キシュナー

About スタンレイ・キシュナー


Applicant, Patent owner：
ヒューズ・エアクラフト・カンパニー

About ヒューズ・エアクラフト・カンパニー


Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992258146
Publication number (International publication number)：1993210006
Application date： Sep. 28, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、多重波長に対して等しい偏差角を有する多重ビームを効率よく発生する方法および装置を提供することを目的とする。【構成】 ビームスライサ6 の基体上の複数の領域において、入射放射3 を物体10上の再帰反射器9 のような空間の異なる領域に導かれる複数の放射ビーム7 に偏移させるブレーズド回折格子を表面に形成されており、放射ビームの関係する2つ以上の波長は次の式にしたがうことによって予め定められた同じ角度で同時に有効に偏移されることを特徴とする。λ1 /λ2 =m2 /m1 、ここで、λ1 およびλ2 は関係する2つの波長であり、m1 はλ1 の回折オーダであり、m2 はλ2 の回折オーダである。
Claim (excerpt)：
入射放射から空間の異なる領域に導かれる複数の放射ビームを発生する装置において、基体と、入射放射を放射ビームに偏移するブレーズド回折格子を限定する前記基体の表面内に形成された1つ以上の領域とを具備し、放射ビームの関係する2つ以上の波長は次の式にしたがうことによって予め定められた同じ角度で同時に有効に偏移され、λ1 /λ2 =m2 /m1ここで、λ1 およびλ2 は関係する2つの波長であり、m1 はλ1 の回折オーダであり、m2 はλ2 の回折オーダであることを特徴とする装置。
IPC (3)：
G02B 5/18 ,  H01S 3/18 ,  H04J 14/02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特公昭58-033534
  • 特開昭56-004107
  • 特開昭56-004107
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