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J-GLOBAL ID:200903024912359753

X線回折装置の試料位置確認方法及び試料容器並びにX線顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴木 利之
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995278248
Publication number (International publication number):1997101270
Application date: Oct. 03, 1995
Publication date: Apr. 15, 1997
Summary:
【要約】【目的】 コリメータと試料の間に配置した箔で発生した2次X線を利用して試料の位置を確認することにより、試料容器の内部の試料を目視できなくても、試料とX線経路との位置関係を確認できる。【構成】 X線源10を出たX線11は、ピンホールコリメータ12で細いビームに絞られて、箔14に入射する。箔14のX線照射領域から発生した2次X線(蛍光X線)20は、試料容器16内の試料18及びその周囲空間を透過してから、2次元X線検出器22に到達し、試料18の外形を拡大画像24として認識できる。このX線顕微鏡をX線回折装置の試料位置確認手段として利用すれば、試料容器の材質として、容器内部を目視できないベリリウムを使うことも可能になる。
Claim (excerpt):
コリメータを通過させたX線を試料に照射して、この試料からの回折X線を2次元X線検出器で測定するX線回折装置において、前記コリメータと前記試料との間のX線経路に箔を挿入して、前記箔にX線を照射し、前記箔の裏面から出てくる2次X線を前記試料に照射して、前記試料及びその周囲空間を透過した前記2次X線を前記2次元X線検出器で検出することにより、前記試料と前記X線経路との位置関係を確認することを特徴とする試料位置確認方法。
IPC (2):
G01N 23/207 ,  G21K 7/00
FI (2):
G01N 23/207 ,  G21K 7/00

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