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J-GLOBAL ID：200903024917741303

レーザ加工装置

Inventor： 佐々木 陽一 ,  渋田見 正俊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997266259
Publication number (International publication number)：1999104871
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 20, 1999
Summary：

【要約】【課題】ヒューズを自動認識することにより、ヒューズの座標データファイルを自動的に作成するレーザ加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を搭載するステージと、レーザ光源からのレーザ光を加工点に導く光学系と、ステージを移動させレーザ光と加工点の位置を合わせる制御部と、予め加工点の位置座標の基礎となる位置情報が入力されこの位置情報を制御部に送信するデータ制御部と、加工対象群を自動認識する自動認識手段を有する。自動認識手段のデータ及び制御部のデータを重畳させてデータ制御部は、座標データファイルを自動的に作成する。

Claim (excerpt)：

レーザ光源と、加工対象群のなかに複数の加工点を有する被加工物が搭載されるステージと、前記レーザ光源から出力されるレーザ光を前記被加工物上の加工点に導く光学系と、前記加工対象群を自動認識し、その画像情報を制御部に送信する自動認識手段と前記ステージの位置座標を計測し前記レーザ光と前記ステージの少なくとも一方を移動させてこれらの相対的な位置関係を制御するとともに、前記自動認識手段から送信された前記画像情報及び前記ステージの位置座標を重畳させた認識情報をデータ制御部に送信する制御部と、前記認識情報に基づき加工対象群の座標データファィルを作成し、且つ、該座標データファイル及び予め入力された前記加工点の位置座標の基礎となる位置情報に従い加工点の座標を前記制御部に送信するデータ制御部と、を有することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3)：

B23K 26/02 ,  B23K 26/00 ,  G06T 7/00

FI (3)：

B23K 26/02 A ,  B23K 26/00 H ,  G06F 15/62 400