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J-GLOBAL ID:200903024962415352
光表面実装用基板およびその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992356871
Publication number (International publication number):1993264833
Application date: Dec. 22, 1992
Publication date: Oct. 15, 1993
Summary:
【要約】【目的】 基板内に光導波路を有する、量産に適した大面積の光表面実装基板を提供すること。【構成】 少なくとも光素子をその表面に実装するための光導波路を形成した基板において、前記光導波路は前記基板表面に開口する光信号入口部と光信号出口部を有し、この光信号入口部と光信号出口部を連通する、基板表面と概ね平行で水平な光信号伝搬路を基板内に有し、該光信号伝搬部の両端は30〜60°の範囲内の傾斜角度を有する斜面状に形成されており、光信号伝搬部の高さがHである場合、光信号入口部の開口幅は(H-β)であり、光信号出口部の開口幅は(H+α)であり、ここで、(H+α)≧(H-β)の関係を有する。このような基板はネガ型またはポジ型ホトレジストを用いたホトリソグラフィーにより容易に大量に製造することができる。基板を挟んだ両面型実装基板も可能である。
Claim (excerpt):
少なくとも光素子をその表面に実装するための光導波路を形成した基板において、前記光導波路は前記基板表面に開口する光信号入口部と光信号出口部を有し、この光信号入口部と光信号出口部を連通する、基板表面と概ね平行で水平な光信号伝搬路を基板内に有し、該光信号伝搬部の両端は30〜60°の範囲内の傾斜角度を有する斜面状に形成されており、光信号伝搬部の高さがHである場合、光信号入口部の開口幅は(H-β)であり、光信号出口部の開口幅は(H+α)であり、ここで、(H+α)≧(H-β)の関係を有することを特徴とする光表面実装用基板。
IPC (2):
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