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J-GLOBAL ID：200903024983765604
液体厚さ測定方法とその装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 昌久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997259381
Publication number (International publication number)：1999083599
Application date： Sep. 08, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 液面に対し非接触な状態で液体(液膜)の厚さを高精度に且つリアルタイムに測定できる液体厚さ測定方法とその装置を提供する事。【解決手段】 レーザ変位計160と、着色剤により着色若しくはそれ自体が着色状態にある計測用液体19と、該液体が流れる液受け面18aと、予め液体19が流れる前の液受け面18aまでの距離をレーザ変位計160で計測して得た第1の距離データを記憶する記憶部9aと、該レーザ変位計160の計測部16と液受け面18aまでの位置関係を維持した状態で、前記液体19を液受け面18aに流して前記レーザ変位計160により該液体表面19aまでの距離を計測して得た第2の距離データを時系列的に逐次記憶するデータロギング装置17と、前記データロギング装置17に記憶された第2の距離データを逐次読み出しながら前記第1の距離データと第2の距離データに基づいて液体厚さ演算する演算回路部9cとよりなることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
レーザ光を対象物に向け出射しその反射レーザを受けて対象物までの距離を測定するレーザ変位計と、レーザ光が液面で反射可能に着色剤により着色するか若しくはそれ自体が着色状態にある計測用液体と、該計測用液体が流れる液受け面とを用意し、予め計測用液体が流れる前の液受け面までの距離をレーザ変位計で計測して第1の距離データを得た後、該レーザ変位計計測部と液受け面までの位置関係を維持した状態で、前記着色状態にある計測用液体を液受け面に流して前記レーザ変位計により該液体表面までの距離を計測して第2の距離データを得、前記第1の距離データと第2の距離データの差を演算することにより液体厚さを測定することを特徴とした液体厚さ測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01F 23/28 J
, G01B 11/06 Z
