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J-GLOBAL ID：200903025001784135

楕円偏光計、測定デバイス及び方法並びにリソグラフィ装置及び方法

Inventor：
クリスティアン - ニコラエ プレスラ

About クリスティアン - ニコラエ プレスラ


Applicant, Patent owner：
エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ

About エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ


Agent (4)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  田中 正 ,  森 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005235530
Publication number (International publication number)：2006030212
Application date： Jul. 19, 2005
Publication date： Feb. 02, 2006
Summary：
【課題】楕円偏光計、測定デバイス及び方法並びにリソグラフィ装置及び方法を提供すること。【解決手段】楕円偏光計は、光学コンポーネントと、検出器とを備えている。光学コンポーネントは、境界表面を介して光連絡した2つの複屈折部分を有している。境界表面に入射した光は、2つの反射成分と2つの透過成分に分割される。検出器は、この4つの成分のうちの少なくとも3つの成分の特性を測定するようになされている。測定した特性に基づいて入射光の偏光状態を決定することができる。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
第1の複屈折部分及び第2の複屈折部分を備えた光学コンポーネントであって、前記第1の複屈折部分が、第1の方向に沿って配向された第1の光軸を有し、且つ、境界表面に沿って前記第2の複屈折部分に接続され、前記第2の複屈折部分が、前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って配向された第2の光軸を有する光学コンポーネントと、 少なくとも1つの検出器とを備えた楕円偏光計であって、 前記光学コンポーネントが、偏光状態を有する放射ビームを受け取るようになされ、 前記境界表面が、前記ビームを前記第1の複屈折部分へ反射する第1及び第2の成分に分割し、且つ、前記第2の複屈折部分へ透過する第3及び第4の成分に分割するようになされ、 前記少なくとも1つの検出器が、前記4つの成分のうちの少なくとも3つの成分の特性を測定するようになされた楕円偏光計。
IPC (3)：
G01J 4/04 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G01J4/04 Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 516C ,  H01L21/30 514E
F-Term (3)：
5F046BA03 ,  5F046CB10 ,  5F046CB15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 特開平3-167504
  • 特開平3-287104
  • エリプソメータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-096907   Applicant：株式会社島津製作所
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