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J-GLOBAL ID：200903025057458834
表面検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
外川 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002165090
Publication number (International publication number)：2004012254
Application date： Jun. 06, 2002
Publication date： Jan. 15, 2004
Summary：
【課題】本発明は、高速で移動する広い幅の被検査物の表面の欠陥を光ファイバ束を用いた照明装置によって、幅方向に均一な精度で、且つ高精度で検出できる表面検査装置を提供する。【解決手段】光ファイバ束1の光入射端面部2に高輝度ランプからの強い光束を入射させ、その光出射端面取り付け部12は、取り付け板122で光ファイバ束1を個々に直線状に所定の間隔で一列に固定設定配置し、この光ファイバからの光出射端面部121に光ファイバの開口数以下のビーム角となる様に光束を制御する光ガイド筒73を設けて、被測定物5の表面に入射させる光束の平行度と強度分布を所定の範囲内に収めたことを特徴とする表面検査装置。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
高速で移動する被検査物の表面に光源からの光束を光ファイバを介して線状に照射し、前記被検査物からの反射光を検出して被検査物の表面を検査する表面検査装置において、
前記光源からの光束を、光ファイバ束の光入射端面部から光ファイバ束を介して、光ファイバ束の光出射端面取り付け部に導き、
この光出射端面取り付け部で前記光ファイバ束を所定の間隔をもって個々の光ファイバに分割して直線状に配置し、
前記個々の光ファイバから出射する光束を光ガイド制御手段により、前記光ファイバの開口数で定められる出射光束の出射角度範囲以下に制御し、
この制御された出射光束を前記被検査物に照射し、被検査物の反射光を検出する様にした
ことを特徴とする表面検査装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (5)：
2G051AA37
, 2G051AB07
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CB01
