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J-GLOBAL ID：200903025071184330

真空封止デバイスおよびその製造方法

Inventor： 持田 洋一
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995260876
Publication number (International publication number)：1997082828
Application date： Sep. 13, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 動作素子の動作特性に優れ、しかも安価で小型の真空封止デバイスおよびその製造方法を提供することにある。【解決手段】 素子基板3に動作素子4と連通路8を設け、素子基板3の上側に蓋部材6を接合する。蓋部材6には、凹部17と16とを設けておき、また、凹部16の周面に基端側が固定支持された梁部11と、梁部11の先端側に連接し外部側開口9に対向するバルブ閉止面12とで構成されるアクチエータバルブ13を設けておく。バルブ閉止面12が外部側開口9を塞いでいない状態で、連通路8から動作素子4を収容した空間7の真空排気を行い、その後、アクチエータバルブ13と素子基板3の間に電圧を印加し、静電力により梁部11が撓曲変形してバルブ閉止面12が外部側開口9を塞ぎ、この状態で素子基板3を加熱しバルブ閉止面12と素子基板3の接触面をガス発生のない共晶反応によって溶融接合する。

Claim (excerpt)：

素子基板面に動作素子が形成され、この動作素子が形成されている素子基板面上に蓋部材が接合されてパッケージが形成され、素子基板と蓋部材の接合境界領域に形成されたパッケージ内真空空間に前記動作素子が収容されている真空封止デバイスにおいて、該真空封止デバイスには前記真空空間内と外部とを連通する連通路が形成され、この連通路の外部側開口の近傍には少くとも一端がパッケージに固定支持された梁部と、この梁部に連接されて前記外部側開口に対向するバルブ閉止面とをもつアクチエータバルブが設けられ、このアクチエータバルブの梁部が外部側開口側に撓曲変形した動作状態で外部側開口がアクチエータバルブのバルブ閉止面によって閉止されていることを特徴とする真空封止デバイス。