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J-GLOBAL ID：200903025076689669

共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法および測定対象物の表面の高さ測定方法

Inventor： 中谷 純一 ,  藤崎 英明
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 金山 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001060210
Publication number (International publication number)：2002258160
Application date： Mar. 05, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 レーザーを用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の表面の合焦点位置を正確に判定する方法、および、測定対象物の表面の高さを正確に測定する方法を提供する。【解決手段】オートフオーカス等により基準表面に焦点を合わせることにより、共焦点光学系をこの高さ方向所定位置であるZ軸位置Zafに合わせた後、そのZ軸位置Zafを基準に、Z軸方向へスキヤンし、Z軸方向の各位置における反射光を検出器で取り込み、強度データを第1の反射強度データとして得た後、第1の反射強度データから、前記Z軸位置Zafからの所定の高さ幅高いZ軸位置Zaをしきい値として、しきい値Za以下のデータを、カットし、新たに第2の反射強度データを得て、第2の強度データのしきい値Za以上の領域で、変極点が得られれば、前記変極点位置を合焦点位置として判定する。

Claim (excerpt)：

レーザー光を用いた共焦点型レーザー顕微鏡で、透過特性がレーザー光の波長域に近いもの、または透明である測定対象物の表面の合焦点位置を判定する、合焦点位置判定方法であって、予め、オートフオーカス等により基準面表面に焦点を合わせることにより、共焦点型レーザー顕微鏡の共焦点光学系をこの高さ方向所定位置であるZ軸位置Zafに合わせた後、そのZ軸位置Zafを基準に、共焦点光学系を高さ方向であるZ軸方向へスキヤンし、Z軸方向の各位置における反射光を検出器で取り込み、Z軸位置に対応した反射光の強度データを第1の反射強度データとして得た後、第1の反射強度データから、前記Z軸位置Zafからの所定の高さ幅だけ高いZ軸位置Zaをしきい値として、しきい値Za以下のデータを、カットし、新たに第2の反射強度データを得て、第2の強度データのしきい値Za以上の領域で、変極点が得られれば、前記変極点位置を共焦点型レーザー顕微鏡の合焦点位置として判定することを特徴とする共焦点型レーザー顕微鏡における合焦点位置判定方法。

IPC (5)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G02B 7/36 ,  G02B 7/28

FI (5)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/00 B ,  G01C 3/06 P ,  G02B 7/11 D ,  G02B 7/11 J

F-Term (46)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065DD04 ,  2F065DD10 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065LL57 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ47 ,  2F065RR06 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06 ,  2F112BA01 ,  2F112CA07 ,  2F112FA03 ,  2F112FA09 ,  2F112FA21 ,  2F112FA27 ,  2F112FA45 ,  2H051AA11 ,  2H051CC03 ,  2H051DB01 ,  2H051FA48 ,  2H052AA08 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD05 ,  2H052AD06 ,  2H052AF02