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J-GLOBAL ID：200903025080194135

角速度センサ

Inventor： 加藤 学
Applicant, Patent owner： アイシン精機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003092875
Publication number (International publication number)：2004301575
Application date： Mar. 28, 2003
Publication date： Oct. 28, 2004
Summary：

【課題】S/N比が優れた角速度センサを提供すること。【解決手段】基板上に形成され、基板表面に対して略平行な平面に配置される一対の半導体薄膜からなる第1可動部と、第1可動部と同一の平面に形成される少なくとも一対の第2可動部と、一端が基板に固定され、他端が第1可動部に接続される第1の梁と、平面の第1軸(x軸)方向に変位可能であり、一対の前記第2可動部に両端が接続される第2の梁と、一端が第1可動部に接続され、他端が第2可動部に接続される第3の梁とを有しており、第1可動部および第2可動部は、第1軸および第1軸と直交する第2軸(y軸)に対して変位可能であり、第1可動部は第1軸および第2軸の変位を検出する手段を有するとともに、第2可動部は、第1軸の方向に力を付加する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板上に形成される一対の第1可動部と、該第1可動部間に形成された一対の第2可動部と、一端が前記基板に固定され、他端が前記第1可動部に接続される第1の梁と、前記平面の第1軸方向に変位可能であり、一対の前記第2可動部に両端が接続される第2の梁と、一端が前記第1可動部に接続され、他端が前記第2可動部に接続される第3の梁とを有しており、前記第1可動部および前記第2可動部は、前記第1軸および前記第1軸と直交する第2軸方向に変位可能であり、前記第1可動部は前記第1軸方向および前記第2軸方向の変位を検出する手段を有し、前記第2可動部は前記第1軸方向に駆動力を付与する駆動手段を備えた、ことを特徴とする角速度センサ。

IPC (3)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84

FI (3)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

F-Term (16)：

2F105BB03 ,  2F105BB09 ,  2F105BB11 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD07 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA32 ,  4M112CA36 ,  4M112FA20