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J-GLOBAL ID:200903025122621608
半導体レーザ装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997141973
Publication number (International publication number):1998335737
Application date: May. 30, 1997
Publication date: Dec. 18, 1998
Summary:
【要約】【課題】半導体基板の種類や発光素子の構造によらず、またレーザ光が減衰することなくレーザ出力のモニターが可能な半導体レーザ装置を提供する。【解決手段】N型半導体基板1の第1の表面には、下部分布ブラッグ反射器2と、N型半導体クラッド層3と、活性層4と、P型半導体クラッド層5と、上部分布ブラッグ反射器6と、P型表面電極10とが順に形成されている。さらに、N型半導体基板1の第2の表面には、N型半導体基板1と逆の極性を有する不純物のP型拡散領域11が形成され、このP型拡散領域11上にはP型裏面電極12が、拡散領域外のN型半導体基板1の第2の表面上にはN型裏面電極13が形成されている。さらに、上部分布ブラッグ反射器6側をレーザ光の出射面とするとともに、N型半導体基板1と、このN型半導体基板1の第2の表面に関して形成されたP型拡散領域11との界面を、レーザ光をモニターするための受光部とする。
Claim (excerpt):
半導体基板と、この半導体基板の第1の表面上に形成された下部半導体ミラー層と、この下部半導体ミラー層上に形成された下部半導体クラッド層と、この下部半導体クラッド層上に形成された活性層と、この活性層上に形成された上部半導体クラッド層と、この上部半導体クラッド層上に形成された上部半導体ミラー層と、この上部半導体ミラー層上に形成された第1の電極と、前記半導体基板の第2の表面に関して形成され、前記半導体基板と逆の導電型を有する不純物の拡散領域と、この拡散領域上に形成された第2の電極と、前記半導体基板の拡散領域外における前記第2の表面上に形成された第3の電極と、を具備し、前記上部半導体ミラー層側をレーザ光の出射面とするとともに、前記半導体基板と、この半導体基板の第2の表面に関して形成された拡散領域との界面を、レーザ光をモニターするための受光部としたことを特徴とする半導体レーザ装置。
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