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J-GLOBAL ID：200903025126895729

スクラビング用円筒ブラシ

Inventor： 松宮 律夫 ,  伊藤 隆志 ,  斎藤 博之 ,  木南 治行 ,  小中 敏典 ,  村井 剛
Applicant, Patent owner： エム・セテック株式会社
Agent (1)： 森 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994321425
Publication number (International publication number)：1996150377
Application date： Nov. 29, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は、洗浄液の流出を円滑にする事により、除去された塵埃が洗浄液と共に流れ去って洗浄面や次の基板の洗浄面に再付着しないようにすることである。【構成】 基板(1)に略平行な回転中心の回りに回転する円筒ブラシ本体(3b)と、円筒ブラシ本体(3b)の外周面に螺旋状に形成され、基板(1)の洗浄面(1a)に接触して洗浄面(1a)の洗浄を行う洗浄毛(3b)と、洗浄毛(3b)の間に形成される螺旋溝(3c)とで構成された事を特徴とする。

Claim (excerpt)：

基板に略平行な回転中心の回りに回転する円筒ブラシ本体と、円筒ブラシ本体の外周面に螺旋状に形成され、基板の洗浄面に接触して洗浄面の洗浄を行う洗浄毛と、洗浄毛との間に形成される螺旋溝とで構成された事を特徴とするスクラビング用円筒ブラシ。

IPC (4)：

B08B 1/04 ,  A46B 7/10 ,  A46B 9/02 ,  H01L 21/304 341

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-148938   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開昭59-006974
  
• ブラシクリーニング装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-114314   Applicant：ミノルタ株式会社
• 洗浄装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-272683   Applicant：ソニー株式会社