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J-GLOBAL ID：200903025142512848

紫外光源、紫外光源を用いた光治療装置、および紫外光源を用いた露光装置

Inventor： 徳久 章 ,  北野 博史
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (2)： 大西 正悟 ,  山口 修之
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2003015772
Publication number (International publication number)：WO2004054050
Application date： Dec. 10, 2003
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

赤外領域の信号光を発生させるレーザ光源10と、ファイバー光増幅器21,22を有しレーザ光源10で発生された信号光を増幅する光増幅器20と、光増幅器20で増幅された信号光を紫外光に波長変換して出力する波長変換光学系30とを備え、光増幅器20における少なくとも1段のファイバー光増幅器22の励起光源としてシングルモードファイバーレーザ26を用いて紫外光源1を構成する。

Claim (excerpt)：

赤外から可視領域の信号光を発生させるレーザ光源と、 少なくとも1段のファイバー光増幅器を有し前記レーザ光源で発生された信号光を増幅する光増幅器と、 前記光増幅器で増幅された信号光を紫外光に波長変換して出力する波長変換光学系とを備えてなる紫外光源において、 前記光増幅器における少なくとも1段のファイバー光増幅器の励起光源がシングルモードファイバーレーザであることを特徴とする紫外光源。

IPC (7)：

H01S 3/10 ,  A61N 5/06 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/30 ,  H01L 21/027

FI (8)：

H01S3/10 Z ,  A61N5/06 B ,  A61N5/06 E ,  G02F1/37 ,  H01S3/06 B ,  H01S3/109 ,  H01S3/30 Z ,  H01L21/30 515B

F-Term (28)：

2K002AA07 ,  2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002EA30 ,  2K002HA20 ,  4C082RA08 ,  4C082RC09 ,  4C082RE02 ,  4C082RE17 ,  4C082RE18 ,  4C082RJ03 ,  4C082RL02 ,  4C082RL03 ,  4C082RL13 ,  4C082RL15 ,  4C082RL16 ,  5F046BA04 ,  5F046CA03 ,  5F172AF03 ,  5F172AF06 ,  5F172AG03 ,  5F172AM08 ,  5F172DD03 ,  5F172NR22 ,  5F172NR24 ,  5F172ZZ02 ,  5F172ZZ03