Pat

J-GLOBAL ID：200903025146536997

サーモリフレクタンス法による熱拡散率測定方法

Inventor： 馬場 哲也 ,  竹歳 尚之
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院計量研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999260938
Publication number (International publication number)：2001083113
Application date： Sep. 14, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 金属薄膜の熱拡散率をサーモリフレクタンス法により正確に測定する。【解決手段】 ピコ秒のパルス光を発生するチタン/サファイヤ・レーザー1から発せられるビームは、ビームスプリツタ2で加熱ビームHと測温ビームPに分割される。加熱ビームは音響光学変調素子3によって変調され、そのビームはプリズム4を移動することによりその長さを可変とした光学遅延路5を通し、加熱ビームHとして薄膜7と透明な基板8の界面10に集光する。測温ビームPは加熱された領域の正反対の薄膜7の表面12上に集光される。反射された測温ビームは、シリコン・フォトダイオード14で検出され、変調周波数で同期されるフォトダイオード信号のAC成分は、ロックイン増幅器15によって検出される。過渡的サーモリフレクタンス信号は、プリズム4の移動により記録される。

Claim (excerpt)：

薄膜の表面を加熱し、裏面の温度応答をサーモリフレクタンス法により観測し、薄膜の膜厚と薄膜表裏面間の熱拡散時間とから薄膜の熱拡散率を測定することを特徴とするサーモリフレクタンス法による熱拡散率測定方法。

F-Term (14)：

2G040AB08 ,  2G040AB09 ,  2G040BA08 ,  2G040BA26 ,  2G040CA02 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA05 ,  2G040DA13 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC02 ,  2G040HA05 ,  2G040HA16