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J-GLOBAL ID:200903025150931574

アルゴン精製方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992072200
Publication number (International publication number):1993078108
Application date: Feb. 24, 1992
Publication date: Mar. 30, 1993
Summary:
【要約】【目的】 流量及び不純物の濃度レベルが広く変わる条件下で有効に用いることができる改善されたアルゴンの精製方法及び装置を提供する。【構成】 周囲温度でのモレキュラーシーブ吸着工程(101,102) と、周囲温度での化学吸着工程(103,104) と、特に精製したアルゴンの液化に有用な低温での吸着工程(105,106) と含むアルゴン精製装置及びその方法である。
Claim (excerpt):
アルゴンの精製方法であって、(a) 酸素、窒素、水蒸気、水素、一酸化炭素、二酸化炭素及び炭化水素の少なくとも一種の不純物を含む気体アルゴン流を提供し、(b) 気体アルゴン流を、モレキュラーシーブ吸着剤を含む周囲温度の床に流し、吸着剤に水蒸気及び/または二酸化炭素を吸着させ、(c) 気体アルゴン流を、触媒物質を含む周囲温度の床に流し、該物質に酸素、水素及び/または一酸化炭素を化学吸着させ、(d) 気体アルゴン流を、吸着剤を含む低温の床に流し、該吸着剤に窒素及び/または炭化水素を吸着させ、そして、(e) 精製したアルゴン流を回収することを含む上記方法。
IPC (5):
C01B 23/00 ,  B01D 53/04 ,  B01D 53/36 ,  B01D 57/00 ,  F25J 3/08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭59-107910
  • 特開昭59-152210
  • 特開昭60-221683
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